| 等离子体离子源的发生装置 |
| CN201010579490.7 2010-12-8 发明申请 |
| 2012-7-11 |
| 一种应用于质谱仪的等离子体离子源的发生装置，包括：等离子体发生腔体，包括作为等离子体发生区的腔室；高压射频源，包括电源以及设于所述等离子体发生腔体外表面的射频电极；与所述等离子体发生腔体相通的传输结构，用于将样品气体和载气引入到所述等离子体发生腔体中；密封件，用于密封所述传输结构与所述等离子体发生腔体之间的连通，为所述等离子体发生腔体提供真空环境。相较于现有技术，本发明的等离子体离子源的发生装置，利用等离子体发生腔体，在低真空环境下可以产生出高密度的等离子体离子源。 |
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