| 扫描电镜及三维结构深度的计算方法 |
| US16747761 2020-1-21 发明申请 |
| 2020-7-23 |
| 一种三维结构的深度测量方法，不需要预先准备每个图案的信息或校准，就可以测量在样品中形成的三维结构，例如孔或槽的深度。 本发明提供了一种电子显微镜，包括：检测单元，用于检测， 在通过用主电子束照射样品而从样品产生的发射电子中， 发射出发射角在预定范围内的电子， 发射角是在主电子束的轴向和从样品发射的电子的发射方向之间形成的角，并且输出与被检测的发射电子的数量相对应的检测信号。 在电子显微镜中， 基于由检测单元输出的多个检测信号来获得检测信号的发射角分布， 检测信号是通过检测发射电子而获得的，所述发射电子具有在多个发射角的每个设定范围内的发射角，并且是通过用主电子束照射三维结构的底部而产生的， 并且基于发射角分布的变化点获得打开角， 打开角是在主电子束的光轴方向和直线之间形成的角，该直线从主电子束照射在三维结构的底部中的位置穿过三维结构的侧壁的上端。 采用立体结构。 |
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