| 用于监测处理系统中离子质量、能量和角度的技术和设备 |
| US12987950 2011-1-10 发明申请 |
| 2012-7-12 |
| 一种用于监测具有离子能量并入射到衬底上的离子种类的角分布的飞行时间(TOF)离子传感器系统，包括漂移管，其中所述离子传感器系统被配置成改变所述漂移管相对于所述衬底的平面的角度。 漂移管可具有配置成接收来自离子种类的离子脉冲的第一端，其中离子脉冲中较重的离子和较轻的离子以分组的形式到达漂移管的第二端。 离子检测器可以设置在离子传感器的第二端，其中离子检测器被配置为检测从离子脉冲导出并对应于相应不同离子质量的离子包。 |
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