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产业专利数据

扫描电子显微镜

US16743250 2020-1-15 发明申请

2020-7-16

浸没物镜被配置在载物台的下方，使得多个检测器可以被配置在样品的上方，用于大束电流施加，特别是用于缺陷检查。由此，可以提供浸没物镜的中心极片，从而可以为电子束提供磁性单极性场。因此，螺旋推运电子检测器可以被配置成在缺陷检查中分析样品的材料。