| 具有改进的图像光束稳定和询问的带电粒子显微镜的方法和系统 |
| US16832973 2020-3-27 发明申请 |
| 2020-7-16 |
| 本发明公开了一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。 该系统包括配置成产生电子束的电子束源和将电子束的至少一部分引导到样品的一部分上的一组电子光学元件。 该系统包括发射率分析器组件。 该系统包括分束器元件，该分束器元件被配置为将由样品的表面发射的至少一部分二次电子和/或反向散射电子引导到发射率分析器组件。 所述发射率分析器组件被配置为对所述二次电子和/或所述反向散射电子中的至少一个进行成像。 |
微信公众号