| 方法，原子力显微镜系统和计算机程序产品 |
| US16626152 2018-6-28 发明申请 |
| 2020-7-16 |
| 本发明涉及一种制造半导体元件的方法， 所述方法包括使用原子力显微镜操纵衬底的表面，所述原子力显微镜包括探针，所述探针包括悬臂和探针尖端，所述衬底包括嵌入所述表面下方的至少一个或多个器件特征。 该方法包括：对嵌入的器件特征进行成像，并识别原子力显微镜的探针针尖的位置与所述特征对齐； 以及使探针针尖横向于表面移动，以施加用于执行表面处理步骤的应力，例如接触孔。 通过经由探针尖端向衬底施加声学信号和从衬底获得声学信号来执行成像，所述声学信号包括处于不同频率的第一信号分量和第二信号分量。 使用所述相同的探针和探针头执行成像和表面处理。 |
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