| 一种应用小型复合分子泵的质谱仪真空腔体系统 |
| CN201510618760.3 2015-9-24 发明申请 |
| 2016-2-3 |
| 一种应用小型复合分子泵的质谱仪真空腔体系统，属于质谱仪技术领域。包括真空腔体(1)、上盖(2)、O型圈(3)、端盖(4)、真空规(8)、涡轮分子泵(6)、波纹管(5)、小型复合分子泵(7)；真空腔体(1)水平放置，真空腔体(1)的上部用上盖(2)及O型圈(3)密封，右端用端盖(2)及O型圈(3)密封，底部连接涡轮分子泵(6)及小型复合分子泵(7)，涡轮分子泵(6)和小型复合分子泵(7)间连有波纹管(5)，真空腔体(1)正面连有真空规(8)。优点在于，真空腔体系统结构简单、拆装方便，可以快速的实现质谱仪所需求的高真空。 |
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