| 离子注入装置 |
| JP2012052605 2012-3-9 发明申请 |
| 2013-9-19 |
| 要解决的问题 : 与所述常规结构相比，它是可以容易地调整分辨率。溶液 : 该离子注入机IM，前进方向和Z方向，和Z方向基本上正交于所述X和Y方向和一方向和一方向2，X方向和Y方向是所述带状大于所述的尺寸等离子束2和产生至少一个离子源1的1具有一个磁铁3和螺线管线圈4被提供有一狭缝分析5。此外，在XZ平面B和所述电磁线圈4在所述通过所述磁铁所产生的磁场的方向质量3和所述的行驶方向入射离子光束2和对角彼此交叉，将选择的绘制 : 图2 |
微信公众号