| 一种刻蚀机托盘的真空测漏装置 |
| CN201520658306.6 2015-8-28 实用新型 |
| 2015-12-9 |
| 一种刻蚀机托盘的真空测漏装置，包括配重块、真空室，所述的真空室内设置有装配好的托盘，托盘外圈上面设置有配重块，真空室与托盘之间设置有第一密封圈，真空室顶部通过螺钉固定有真空腔盖，真空室与真空腔盖之间设置有第二密封圈；真空室侧面连接有氦质谱检漏仪；所述的真空室底面中心设置有氦气接入口，侧面设置有抽气口。本实用新型结构简单，操作方便，制造成本低，有效判断托盘的漏率情况，提高了生产效率。 |
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