| 电子装置 |
| JP2014103983 2014-5-20 发明申请 |
| 2015-12-7 |
| 要解决的问题 : 产品或评价电子设备故障的故障。方法：离子源1，离子束产生。质谱仪2，含希望的离子束的离子取出。加速器3，离子束被加速。所述的光束扫描部分4，离子束照射离子束扫描的扫描面积。多个拾取线圈7，检测电流引起的离子束。带通滤波器8，和多个拾取线圈7通过电流检测高频率，具有所需频率的高频电流输出的超导量子干扰表9。9是超导量子干涉装置，一种具有所需频率的高频电流产生检测磁通的基础上，一种检测磁通成比例的信号输出到控制单元11。所述控制装置11，超导量子干涉器基于接收的信号确定从流量计9范围内希望产生的离子束流离子源1控制。选择的绘图 : 图。1 |
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