| 基于质谱反馈的准静态配气仪 |
| CN201520600903.3 2015-8-11 实用新型 |
| 2015-12-2 |
| 本实用新型公开了基于质谱反馈的准静态配气仪，其包括：气缸(18)；配合在气缸(18)内的活塞(16)，活塞(16)与气缸(18)的底部围成主腔体(13)，主腔体(13)与一个质谱仪(15)连通，主腔体(13)通过阀门一(7)输入待测气体(1)，还通过阀门二(8)输入缓冲气体(2)；以及驱动活塞(16)移位的电机(19)。本实用新型通过设置气缸(18)、活塞(16)围成的主腔体(13)，配合电机(19)驱动活塞(16)实现主腔体(13)内气体的反馈机制，在质谱仪(15)的测量过程中能准确的调整到气体的浓度在恰当的位置。 |
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