| 用于辉光放电质谱系统和方法，刻蚀深度的原位测量样品的 |
| FR14053997 2014-4-30 发明申请 |
| 2015-11-6 |
| 本发明涉及一种辉光放电的光谱系统包括辉光放电灯适于接收固体样品(10)和形成辉光放电等离子体刻蚀(19)。按本发明，系统(100)，用于测量原位侵蚀的深度通过刻蚀产生的焊疤的样品(10)包括光学分离器(3)，光学装置(4)适用于将第一入射光束(21)向第第一区域(11)的样品，该区暴露在蚀刻等离子体中，和第二的入射光束(22)向第二区(12)同侧的样品，从蚀刻等离子体保护的区域，分别，和光学重组装置(3)适于形成的干涉测量束的(30)以确定的深度(d)该烧蚀的喷火口， |
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