| 用于制造有机电致发光有机EL装置及其制造方法 |
| JP2013203522 2013-9-30 发明申请 |
| 2015-4-13 |
| 要解决的问题 : 在蒸发源的坩埚为气相沉积室中的所述表面的高度的材料可连续测量与传感器和有机EL装置以提供用于制造有机的方法EL。溶液 : 有机EL装置，和坩埚3的沉积材料2，和用于加热该坩埚的加热装置43，坩埚3和真空室，和加热装置4安装，其存储在所述坩埚(3)沉积材料2具有35和质谱仪的质量，大量的材料2变成等于或小于预定的沉积时停止，必要的处理以确定是否继续控制部分，或，测量相对于操作者。选择绘制 : 图。3 |
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