| 直接沉积在衬底和悬臂上的用于扫描探针显微镜的石墨烯 |
| JP2018243308 2018-12-26 发明申请 |
| 2020-7-9 |
| [A]在基板上不使用金属催化剂，直接利用石墨烯膜的优良的电光特性的膜制造方法。 在基座1a上的反应容器6中， 衬底温度保持在5500℃以下， 气体入口11至少使一氧化碳和氢化合物的原料气体在基板上流动，由微波激励的原料气体产生表面波等离子体，催化剂直接在基板上而不使用石墨烯膜。 而且，在形成石墨烯膜之后进行臭氧处理，可以降低薄层电阻以提高透光率。 图1[附图] |
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