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基于表面敏感原子力显微镜的红外光谱

US16628908 2018-7-9 发明申请

2020-7-9

可以提供一种系统和方法，用于对纳米级的样品进行化学光谱分析，即使在非常厚的样品上也具有表面灵敏度。在该方法中，通过用红外辐射束照射所述表面层并测量探针响应来构造指示所述表面层的红外吸收的信号，所述探针响应包括探针的谐振的谐振频率偏移和相移中的至少一个。表面层吸收红外辐射。