抑制有害离子的痕量气体泄漏检测用质谱仪
 
US11354410  2006-2-15  发明申请

2007-8-16
 
  提供了用于痕量气体泄漏检测的质谱仪和操作质谱仪的方法。 所述质谱仪包括 : 离子源,用于电离诸如氦的痕量气体;磁体,用于偏转所述离子;以及检测器,用于检测偏转的离子。 所述离子源包括电子源,这样的灯丝。 所述方法包括在相对于电离室的电子加速电势下操作所述电子源,所述电离室足以电离所述痕量气体但不足以形成不希望的离子,例如三重带电碳。
 
仿站