| 质谱仪 |
| US12183116 2008-7-31 发明申请 |
| 2009-2-12 |
| 侧壁35和小碰撞室36,所述侧壁35在轴向方向上延伸,所述轴向方向包围等离子体,使得在撇渣锥33的后表面处防止等离子体向侧面膨胀,所述小碰撞室36位于所述侧壁35的后侧,并且由第一电极53的平坦部分56限定,所述第一电极53具有开口57,离子束可以穿过所述开口57。 借助于该小碰撞室36,室中的压力上升而不引入额外的气体; 因此,氩离子通过离子和电子之间的碰撞和复合而被中和,并且等离子体的离子密度降低。 因此,离子提取和传输期间的束直径保持相对较小。 |