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平面离子漏斗
US13673622 2012-11-9 发明申请
2013-5-16
公开了一种可用于离子控制的平面离子漏斗。 在一个应用中,平面离子漏斗可用于质谱仪中的离子控制。 所述平面离子漏斗可形成在包括孔口的基本上平面的衬底的表面上。 导电结构可以形成在围绕孔口的衬底的顶表面上。 在操作中,可以向导电结构施加功率,该功率导致产生将离子吸入和穿过孔口的电场。 在一个实施例中,孔口可以是圆形的,并且导电结构可以是围绕孔口的一系列直径增加的嵌套环。
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