| 校准扫描带电粒子显微镜的方法 |
| US16730848 2019-12-30 发明申请 |
| 2020-7-2 |
| 提供了一种用于校准扫描带电粒子显微镜，例如扫描电子显微镜(SEM)的方法。 该方法包括：将晶片分成多个区域； 在所述多个区域的每一个上制备包括与第二周期性结构交错的第一周期性结构的图案，所述第一和第二周期性结构具有感应偏移； 确定所述第一和第二周期性结构的实际间距，从而确定所述多个区域中的每一个上的实际诱导偏移； 从所述多个区域中选择多个区域； 通过SEM测量所述多个区域中的每一个上的第一和第二周期性结构的间距； 以及基于所述确定和所述测量对所述SEM进行线性校准。 |
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