| 一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪 |
| CN201420872348.5 2014-12-31 实用新型 |
| 2015-7-8 |
| 本实用新型涉及一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪，包括：第一真空室、第二真空室、第三真空室、第四真空室；所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括：第一调谐部件，所述第一调谐部件为泵，与各级真空室相连，调节所述各级真空室的压力；第二调谐部件，所述第二调谐部件使各级真空室相互连通，调节所述各级真空室之间的压力。本实用新型具有优化降低空间电荷效应，改善抗质谱干扰和非质谱干扰效果，优化离子传输等优点。 |
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