| 微波微等离子体电子源 |
| CN201510136907.5 2015-3-26 发明申请 |
| 2015-7-1 |
| 本发明提供一种微波微等离子体电子源，所述微等离子体电子源为硅-玻璃双层结构，下层为硅基底，上层为玻璃；所述等离子体腔室、电子加速透镜、电子聚焦透镜、能量过滤器和检测器在硅基底上通过深硅刻蚀工艺形成，再与玻璃键合形成所述微等离子体电子源。所述微波微等离子体电子源，先用高压陶瓷装置给予氩气高电压激励，并采用三开路支节结构的微带谐振器将2.4～2.5GHz频率，1W的微波功率耦合给氩气，形成稳定等离子体，通过电子引出、加速、聚焦系统将电子引出并加速聚焦成目标电子能量；电子引出、加速、聚焦系统的所加持电压决定了通入离子源的电子束能量的大小进一步决定微型质谱仪可检测物质的范围。 |
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