| 质谱分析仪气体检漏仪 |
| RU2013133759 2013-7-22 发明授权 |
| 2015-6-27 |
| 领域 : 仪器。物质 : 本发明涉及一种真空工程，即静磁质谱仪分析仪与180度旋转和双磁聚焦，可用于气体泄漏探测器，包括氦酮，用于气密性试验的各种系统和对象以允许从内腔下深抽真空或其含填充有氦气的混合或另一测试气体在超压。质谱仪分析仪的气体泄漏检测器，包括真空室内部有连接法兰，以下是包含 : 测试气体的物质的离子源由电子源和电离室；磁系统提供质量aration的离子；离子接收器。同时等离子体阴极的电子的源基于辉光放电的等离子体是所述护坡电池置于轴向磁场与电子的发射器实现为一槽体，用于形成一个带所述细胞的抗阴极中的电子束的从电离室。优选的是，以提供在所述护坡电池阳极的中心部的孔“泵送”的残留气体从真空室。效果 : 提高可靠性和使用寿命的增加质谱仪的分析仪；真空requirements.8的平滑Cl，4的DWG |
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