| 一种离子源组件的接气装置 |
| CN201520112666.6 2015-2-16 实用新型 |
| 2015-6-10 |
| 本实用新型公开了一种离子源组件的接气装置，包括：固定部，所述固定部设置于质谱仪真空腔体与离子源之间，离子源固定在所述固定部一侧；所述固定部内设有与外部相通的通气孔一；离子源靠近固定部处设有与通气孔一对应连接的通气孔二；气管接头二，所述气管接头二位于所述离子源外部，与所述通气孔二连通；所述通气孔一与所述通气孔二之间设有密封件；气管，位于所述离子源的进样针组件顶端，与所述气管接头二连接。本实用新型的离子源组件的接气装置，离子源各组件的气流输入接口设置于真空腔体一侧保持固定，离子源的打开与关闭不会对气流输入造成影响，避免了气管随着离子源开关而拉扯可能造成的风险，安全、可靠。 |
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