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一种真空闸板阀及质谱分析仪器
CN201420713701.5 2014-11-24 实用新型
2015-5-27
本实用新型公开了一种用于质谱仪器的真空闸板阀,包括阀座以及阀芯;在所述阀座与阀芯之间设置有一密封环;所述阀芯上设置有挤压机构,用于使阀芯压紧所述密封环;还公开了一种质谱分析仪器,包括离子源腔以及与其相连通的分析室,在所述离子源腔与分析室的连通通道上设置有如前所述的真空闸板阀。本实用新型的装置,在实现更换样品后能够快速建立质谱仪检测所需真空,并且密封效果好,换样效率高。
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