| 一种具有测试功能的聚焦离子束机台 |
| CN201520033620.5 2015-1-17 实用新型 |
| 2015-5-20 |
| 本实用新型公开了一种具有测试功能的聚焦离子束机台，包括腔体，所述腔体内设有离子源、离子源腔体、高压加速器、二次离子侦测器、信号发生器和样品座，所述离子源安装在离子源腔体的顶部，所述离子源通过高压加速器与电源接通，所述样品座固定在腔体的底部，所述离子源腔体位于样品座的上方并与所述样品座的表面垂直布置，所述二次离子侦测器位于离子源腔体的侧边，所述二次离子侦测器的中心线与离子源腔体的中心线相交于样品座的表面上，所述信号发生器位于二次离子侦测器的下方。本实用新型提供的具有测试功能的聚焦离子束机台实现了离子源的密度调整、样品能在真空的腔体内直接测量样品功能。 |
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