| 真空原子力显微镜的耦合系统及真空原子力显微镜 |
| CN202010279061.1 2020-4-10 发明申请 |
| 2020-6-26 |
| 本发明提供一种真空原子力显微镜的耦合系统及真空原子力显微镜。该耦合系统包括：真空室；激励光源，位于所述真空室外，发射激励激光用于使探针振动；检测光源，位于所述真空室外，发射检测激光用于检测所述探针偏转信息；光线传输装置，部分设置于所述真空室外，部分设置于所述真空室外，所述光线传输装置可将接收所述激励激光与所述检测激光，所述光线传输装置还可传输所述探针反射的所述激励激光与所述检测激光，并偏转走所述激励激光；光电位置转换器，用于接收所述检测激光，并根据所述检测激光计算所述探针的受力。实现真空环境下的可靠测量，降低测量过程中的噪声，保证测量结果准确。同时，结构简单，可降低耦合系统的复杂程度。 |
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