密封面,特别是用于真空室的质谱仪及制造这种密封表面的方法
 
EP14189006  2014-10-15  发明申请

2015-5-6
 
  (7,7‘)本发明涉及一种密封面,特别是用于真空室的质谱仪,以及生产方法。在状态的技术可通过旋转的环形密封面。铣削提供了一种非环形形式为,然而,不利于密封;所述的任务,提供一种密封面,也可以假定非圆形形成需要准备和以小的代价,(7,7‘)根据本发明通过密封表面的问题,具有凹槽(11,11‘)的周向的,可通过按压或通过射流切割或烧蚀。本发明还涉及一种用于制造这种方法密封面(7,7‘),(7,7‘)具有这种密封面部件,真空室(7,7‘)的元件等的密封面,这种真空室和质谱仪。
 
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