| 检测装置和多-入口-真空泵 |
| DE202013003855 2013-4-25 实用新型 |
| 2014-9-4 |
| 检测装置，在特定的质量光谱仪，具有多个，特别在一排中的一装置壳体(10)设置真空室中(12，14，16，18，20，22)，一个在所述装置壳体(10)提供了用于模块的凹槽(28)用于接收一种多-入口-真空泵(30)，其中所述的多-入口-真空泵(30)一个泵壳体(38)具有，在其中一个的多个的转子元件(34)对转子轴(32)，与所述转子元件(34)相配合的定子元件(36)和一个所述转子轴(32)驱动的驱动装置(40)被设置，其中在所述泵壳体(38)的主入口(54)和一个多个的中间入口(56，58，60，62，64)被设置，在每个情况下，通过连接开口，所述(68)在所述模块的凹槽(28)与一个的所述真空室(12，14，16; 18，20)被连接，其特征在于，在其到所述的中间入口(56，58，60，62，64)和以所述连接开口(68)在至少部分密封表面(70)被设置和在至少一个一对的密封表面(70，72)。基本上垂直于所述泵的纵向轴线(74)被设置。 |
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