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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

离子注入设备和注入离子方法

US13296436 2011-11-15 发明申请

2013-5-16

采用滚筒式扫描轮的离子注入装置可以保持总锥角小于60°的晶片。准直的离子扫描束，例如H+，沿着与扫描轮的旋转轴成至少45°角的最终束路径定向。在扫描或质量分析之前，从源中提取离子并沿直线加速路径加速到高注入能量(大于500keV)。质量分析器可以位于旋转轴附近，并且不需要的离子被引导到可以安装在扫描轮上的环形束倾卸装置。