| 测量样品表面物理性质的方法和扫描探针显微镜 |
| JP2020020568 2020-2-10 发明申请 |
| 2020-6-25 |
| [问题]对应于测量分布的物理特性的样品表面形状，其可以在短时间内用高分辨率方法进行。 [解决方案]探针，其扫描样品表面中的多个测量点之间的样品表面， 根据测量样品相互作用的面形得到探针和样品表面， 所述多个测量点中的每一个指定物理量值对应于所述输入输入输出关系的另一个预定物理量值测量物理性质分布方法， 基于步骤S-A2A-S-A7， 固定到输入值， 执行在测量该对1的表面形状的测量操作中的多个测量点的输出值， 逐步执行改变测量操作值的电压Vs-A9s-A2n， 对于每个步骤的测量点E10，多个输入值中的每一个对应于从输入端输出的值，数据处理在测量点的物理特性中被执行。 图2[图] |
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