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质谱测定装置
US13761933 2013-2-7 发明申请
2014-8-7
真空计配置在安装有碰撞单元的中间真空室和分析室10中,气体压力判定部在分析前判定真空计检测到的气体压力是否在阈值以下,如果在阈值以下,则发出警报。 如果进入碰撞室的CID气体供应停滞,则流入分析室的CID气体的量将减少,因此分析室中的真空度将变得过高。 此外,如果被加热的毛细管变得堵塞,从具有环境压力气氛的电离室流入中间真空室的气体的量将减少,因此中间真空室内的真空度将变得太高。
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