| 离子群辐照装置及二次离子质谱仪 |
| US14307696 2014-6-18 发明申请 |
| 2014-12-25 |
| 本发明提供一种离子群照射装置，包括 : 产生离子的离子源； 以及离子组选择单元，从从离子源释放的离子中选择包含簇离子的离子组， 一种离子组照射装置，用于用离子组照射样品， 其中所述离子源具有用于随着时间改变喷射所述团簇离子的材料的压力的压力梯度形成单元，所述离子组选择单元具有斩波器，所述斩波器通过所述斩波器的打开和关闭在行进方向上通过和阻挡所述团簇离子来执行选择所述离子组的斩波操作，并且所述斩波器在所述压力梯度形成单元的压力梯度形成操作的每一次中执行所述斩波操作的两次或更多次。 |
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