| 用于大气压或变压扫描电子显微镜的样品检验的装置，显微系统和显微方法 |
| WOEP19077215 2019-10-8 发明申请 |
| 2020-6-25 |
| 本发明涉及一种用于大气或变压扫描电子显微镜的样品检验的装置。 该装置包括基座元件，该基座元件包括用于紧固到扫描电子显微镜的样品台上的紧固装置。 所述装置还包括样品室，所述样品室可释放地紧固到所述基座元件并且能够接收待检验的样品。 样品室具有用于将扫描电子显微镜的电子束引入样品室的开口。 所述装置还包括闭合元件，所述闭合元件可释放地紧固到所述样品室，并且被设计成在第一操作状态下以气密方式闭合所述样品室的所述开口，并且在第二操作状态下不覆盖所述开口。 所述基础元件和所述样品室热耦合，所述基础元件包括用于设置所述样品室内的温度的温度控制元件。 样品室还包括用于向样品室供应液体或气体介质和从样品室移除液体或气体介质的连接件。 |
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