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化学分析仪用超薄膜及其成膜方法

US13024733 2011-2-10 发明申请

2012-8-16

一种用于在诸如质谱仪的化学分析仪中使用的超薄膜的形成方法，包括以下步骤 : 将牺牲阻挡层施加到多孔基板上，将半渗透膜层施加到牺牲阻挡层上，以及在膜层固化之后移除牺牲阻挡层。在优选的方案中，阻挡层和膜层中的至少一个通过旋涂施加到多孔载体上，但也可以采用其它沉积技术。