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质量分析器

CN201420600621.9 2014-10-16 实用新型

2015-2-11

本实用新型提供一种质量分析器，所述质量分析器的内壁上设有碳化硅层。在所述质量分析器内壁上增设一层碳化硅层，由于碳化硅的硬度特别高，在离子束撞击所述碳化硅时不容易出现脱落的现象，有效地避免了晶圆被划伤的危险。