| 质谱分析仪气体检漏仪 |
| RU2013133759 2013-7-22 发明申请 |
| 2015-1-27 |
| 1。质谱分析仪的气体检漏仪，包含真空室有连接法兰，其内部设有 : 离子源测试气体物质，由电子源和电离室；磁系统，提供aration的离子的质量；接收器的离子，其特征在于 : 作为电子源的用于等离子体阴极基于辉光放电的等离子体，代表放置在轴向磁场的细胞潘宁与电子的发射器，在形成的槽形成的带antikatode细胞中的电子束，上侧的电离室。2。质谱分析仪根据权利要求1，其特征在于 : 在中心部分正极电池潘宁孔“增压”残余气体从真空室。3。质谱分析仪根据权利要求1和2，其特征在于 : 还含有相对安装，输出窗的电离室的反射电极，其电位下等离子体阴极(虚拟阴极)，提供反射(振荡)的商品从等离子体阴极的电子。4。质谱分析仪根据权利要求3，其特征在于 : 作为反射电极使用的金属板，或第二等离子体阴极，或螺纹nakalivaemogo thermocathode，对称安装的等离子体从相反侧的阴极电离室和产生反射电子。5。质谱分析仪根据权利要求1，其特征在于 : 体中的真空腔室由与prisoedin单体的形式 |
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