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一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门
CN201420661275.5 2014-11-7 实用新型
2015-1-21
本实用新型公开了电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,包括:基座,所述基座具有待密封封口,且具有第一腔室及第二腔室;具有前后伸缩部件的动力源装置;滑动系统;封闭装置等; 本实用新型采用开合结构,通过开合来实现静态和动态真空,并且开启时,进气量很小,满足检测需要。同时此结构简单,可通过软件控制,运动顺畅,更适合于仪器整体化设计,装配简单,智能化程度高,满足高真空要求等。
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