水蒸气测量装置及方法
 
CN201210434516.8  2012-11-5  发明申请

2013-3-20
 
  本发明提供了一种水蒸气测量装置,包括:连通质谱仪的第一气体气源;连通储水容器内部的第二气体气源;所述储水容器具有进口和出口,所述进口连通所述第二气体气源,所述出口连通所述质谱仪;第一计算模块用于根据所述质谱仪传送来的对应于第二气体的离子信号强度得出水蒸气浓度;模型建立模块用于根据第一计算模块得出的水蒸气浓度、质谱仪传送来的对应于水蒸气的离子信号强度得出水蒸气浓度的测量模型;第二计算模块用于根据质谱仪传送来的对应于待测水蒸气的离子信号强度、所述测量模型得出待测水蒸气的浓度。本发明具有准确、快速、稳定、测量成本低等优点。
 
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