| 具有混合和双重机械扫描结构组合离子注入机 |
| US11831744 2007-7-31 发明申请 |
| 2009-2-5 |
| 提供了一种用于在多个操作范围中将离子注入到工件中的系统和方法。 提供所需剂量的离子，并由离子源形成点离子束，并由质量分析器进行质量分析。 基于所需的离子剂量，以第一模式和第二模式之一将离子注入到工件中，其中在第一模式中，离子束由定位在质量分析器下游的束扫描系统扫描，并由定位在束扫描系统下游的并行化器并行化。 在第一模式中，工件扫描系统通过扫描的离子束在至少一个维度上扫描工件。 在第二种模式中，离子束通过束扫描系统和未扫描的平行化器，并且工件通过点离子束被二维扫描。在第二种模式中，离子束通过束扫描系统和未扫描的平行化器，并且工件通过点离子束被二维扫描。在第二种模式中，离子束通过束扫描系统和未扫描的平行化器，工件被二维扫描。 |
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