| 扫描探针显微镜 |
| WOJP18047304 2018-12-21 发明申请 |
| 2020-6-25 |
| 该扫描探针显微镜包括：悬臂(2)，其远端具有探针(20)； 样品台(11)，其上放置待测样品(S)； 用于使样品台(11)在水平方向上移动的压电扫描器(13)， 驱动单元(19)，用于通过向压电扫描器(13)施加电压以使其弯曲，从而使样品台(11)在水平方向上移动； 以及设置在压电扫描器(13)的上表面和样品台(11)之间并引导样品台(11)的水平方向移动的引导构件(17)。 驱动单元(19)在第二模式下比在第一模式下更快地改变电压。 |
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