| 高灵敏度的气体分析仪，自动分析装置的确定方法及系统 |
| JP2010104211 2010-4-28 发明授权 |
| 2015-1-7 |
| 要解决的问题 : 使示踪气体测量并可达ppm能够做到不招致装置的顺序和成本增加，与改进的精度测量值，. 溶液 : 一种高灵敏定量测量微量气体分析仪的气体包括气体对被测容器21将气体储存起来，一种小容器(23)连接的气体贮存器通过第一开闭阀，缓冲罐25有音量大于小容器的2, 000倍，连接小容器通过第二开闭阀，歧管27连接，缓冲罐通过管道，四极型质量分析装置30与抽真空装置，由涡轮分子泵，隔膜泵具有第三打开和关闭设置在入口侧，连接歧管，孔口的气体的流动在四极型质谱仪，和旁路配管38有第四打开和关闭阀，装，连接歧管和涡轮分子泵. 版权 : (C)2011，隆起部. |
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