| 用于将用于扫描探针显微镜的探针与尖端样品的尖端对准的方法和装置 |
| EP18214398 2018-12-20 发明申请 |
| 2020-6-24 |
| 本发明涉及一种用于使适于扫描探针显微镜(SPM)的探针(1)相对于尖端样品(11)的顶点区域(21)对准的方法和装置， 例如用于原子探针断层扫描的样品，以便进行所述顶点区域的SPM采集，从而获得所述区域的图像。 当SPM探针以非接触采集模式操作时，并且当在样品尖端周围出现电场和/或磁场时，通过扫描样品尖端上方的区域来进行对准。 优选实施例涉及由在EFM模式(电力显微镜)下操作的接地探针扫描的DC偏置样品。 以距样品尖端递减的距离重复扫描多次，直到以检测图像中的区域的形式检测到场，显示出图像所基于的测量探针参数的梯度。 进一步减小距离和重复扫描允许限定样品尖端的顶点区域(21)的位置并使探针尖端与所述区域对准。 |
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