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粒子束处理与用于质谱分析装置

DE102014216114 2014-8-13 发明申请

2014-11-20

治疗粒子束本发明涉及一种用于工件(3)装置，包括 : 粒子束炮(1)，用于产生到工件(3)定向微粒梁(2)，质谱仪(7)用于确定质谱测量的数据在粒子束处理与颗粒中梁(1)从工件(3)的烧蚀，二次颗粒，以及控制系统(9，14)，用于影响至少一个参数的测量数据作为功能的质谱治疗粒子束。