| 用于在基于镜子的光成像带电粒子显微镜中增强SE检测的方法和装置 |
| US16229936 2018-12-21 发明授权 |
| 2020-6-23 |
| 一种装置，包括反射器，该反射器邻近样品位置定位，该样品位置定位成接收来自CPB聚焦组件的沿CPB轴的带电粒子束(CPB)，使得该反射器定位成接收在基于CPB样品的样品位置处从样品发射的光 相互作用或光子-样品相互作用，并将光引导到光电检测器，以及位于反射器附近的引导电极，以便基于CPB-样品相互作用引导从样品发射的二次带电粒子远离反射器和CPB轴。 还公开了方法和系统。 |
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