| 用于离子注入机中的束角度调节系统和方法 |
| WOUS07019902 2007-9-13 发明申请 |
| 2008-3-20 |
| 一离子注入系统采用一种用于两个质量的质量分析仪分析和角度校正。一种离子源产生一个沿一束离子束路径。质量分析仪是位于下游的所述离子源，其上进行质量分析和角度校正所述离子束。一个分辨孔的孔内的组件是位于所述质量分析仪组件的下游和沿所述光束路径。该分辨孔具有一种尺寸和形状根据一个选定的质量的分辨率和一束包络该离子束。一角度测量系统是位于下游的所述的分辨孔和获得一个入射的角度值该离子束。一控制系统导出一个磁场调整用于所述质量分析仪根据所述入射的角度值所述离子束从所述角度的测量系统。 |
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