| 气体可渗透的评价装置 |
| JP2013017820 2013-1-31 发明申请 |
| 2014-8-21 |
| 要解决的问题 : 质量分析的样品在该交换反应室维持在高真空，和，同时所述质量分析仪室排出从所述所述气体渗透的电阻可以被测量气体渗透性。溶液 : 气体被引入和一种气体引入腔室1，该预燃烧室2和所述后台，设置所述后台PTS，质量分析室3，该气体入口室1和所述预燃烧室和分区4被耦合到所述基件5，所述基材的上表面5所述气体引入腔室1中样品20被安装，所述预燃烧室2和所述质量光谱仪室3和分区6，一种具有一节流孔7被设置，所述质量光谱仪室3被连接到所述质量光谱仪8，质谱分析室3被排出从所述真空泵被提供，该样品20所述的透射率和所述孔7的equiconductance所述区域C，该压力所述气体入口室1中的测量值P0所述预燃烧室2中的压力和一测量值P1，该质量光谱仪室3中所述质量光谱仪8测量通过该压力测量值P2从，所述以下表达式j1=C(P1-p2)/(P0-p1)气体渗透性j1样品20的气体可渗透的评价装置10。选择绘制 : 图2 |
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