| 弯曲棒状磁铁调节离子束装置 |
| US13012759 2011-1-24 发明申请 |
| 2012-7-26 |
| 用于在质量分析器和衬底保持器之间调节离子束的装置和方法。 在此，一个或多个弯曲的，诸如拱形、弯曲或锯齿形的条形磁体被配置成施加一个或多个磁场，以调整穿过由一个或多个弯曲的条形磁体部分包围的空间的离子束的形状或横截面。 相邻弯曲条形磁体之间的间隙宽度、每个弯曲条形磁体的曲率和流过每个弯曲条形磁体的电流中的至少一个可以被依赖地或独立地固定或调节。 因此，可以以期望的方式改变沿不同方向施加在离子束上的洛仑兹力，然后可以柔性地拉长、压缩或成形离子束以满足工艺要求。 |
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