| 用于改进的技术离子束传输 |
| WOUS07079539 2007-9-26 发明申请 |
| 2008-4-10 |
| 一个用于本发明公开了一种改进的离子注入技术。在一个特定的示例性实施例中，该技术可以被实现为一离子注入系统包括一个离子源用于产生一个离子束，一个质量分析器，用于选择一个希望的离子物质从所述离子中的离子颗粒束，离子减速器配置，以减少所述离子束中离子的能量，一个端站，用于支撑至少一个工件要从所述离子束与离子注入，和一种中性粒子分离器的配置，以去除neutraliy-带电粒子之前从所述离子束到达所述离子减速器。 |
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