| 离子注入装置和方法的收敛/整形离子束及其使用 |
| KR1020080033403 2008-4-10 发明授权 |
| 2014-7-21 |
| 离子注入装置，离子源(10)由离子束引出电极，质量分析磁体装置(22)和质谱分析狭缝(28)通过，往复扫描晶片(58)照射到。从出口质量分析磁体的质量分析之前狭缝部的装置，从而使射束线非，号14发射率控制而不影响当前垂直聚焦电磁铁(24)提供，从出口的质量分析狭缝光束扫描器段之前的部件使射束非，有效比电磁铁聚焦垂直度的控制，在不影响束流号14磁场效应大2的数4发射率控制而不影响当前垂直聚焦电磁铁(30)安装在上表面，，便携电话发送整形的收敛性和离子束。 |
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