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操作扫描探针显微镜的方法和装置

US16709624 2019-12-10 发明申请

2020-6-18

一种改进的AFM成像模式(峰值力抽头(PFT)模式)使用力作为反馈变量以减少尖端-样本相互作用力，同时保持所有现有AFM操作模式可达到的扫描速度。样品成像和机械性能映射以改进的分辨率和高样品通过量来实现，该模式可在包括气体，流体和真空的变化环境中工作。